クリーンルーム
clean room
温度・湿度・清浄環境を制御・モニタしている工場や作業場所のことを指します。IC ではnmオーダの超微細なパターンを加工しているため、不純物が存在するとICの歩留りや性能、信頼性などを低下させてしまいます。一般的なクリーン化方式には、作業所全体に与圧をかけ、天井のフィルタから網目状になっている床に向かって絶えず空気を流す「ダウンフロー」と呼ばれる手法がとられています。クリーンルームの建設コストや運転コストを下げる目的で、SMIF やFOUPなどの局所クリーン化方式も採用されています。
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