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ステッパ

stepper

IC製造工程のうち、ウェハ上にマスクパターンを転写する露光工程で使用する縮小投影露光装置のことです。転写時の縮小率は、4 対1、5 対1、10 対1などがあり、露光光源には可視光のg 線(波長436nm)、紫外線のi 線(波長365nm)、エキシマレーザのKrF(波長248nm)、ArF(波長193nm)などを用います。最近では「スキャナ方式」と呼ばれる、縮小投影レンズをステージに同期させて移動し、連続的にマスクを走査するステッパが採用されています。露光範囲が広がり、チップサイズの大型化に対応しています。マスク(レティクル)をレンズ光学系を介してウェハ上に縮小投影し、繰り返し転写(Step and Repeat)することからこの名前がつきました。

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