VMOS
v-groove MOS
縦型V溝MOS FETを指します。オン抵抗が小さいのが特徴で、パワーMOS FETに利用されます。シリコン（Si）単結晶基板表面にV型の溝を形成して、溝に沿ってゲート酸化膜およびゲート電極を設け、表面にソース電極を、裏面にドレイン電極を形成します。
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