スパッタリング
sputtering
成膜とエッチングの両方の意味を持つ物理的気相成長法（PVD）の一つです。真空中に不活性ガスを注入しながら電極に電圧を加えると、グロー放電が発生します。このときプラズマの中のイオンが陰極のターゲットに衝突して、原子をはじき出す現象をスパッタといいます。これを利用して気相成長やエッチングを行います。
転職×天職 > 半導体業界での転職 > 半導体用語辞典 一覧 > スパッタリング
転職×天職 > 半導体業界での転職 > 半導体用語辞典 一覧 > スパッタリング
成膜とエッチングの両方の意味を持つ物理的気相成長法（PVD）の一つです。真空中に不活性ガスを注入しながら電極に電圧を加えると、グロー放電が発生します。このときプラズマの中のイオンが陰極のターゲットに衝突して、原子をはじき出す現象をスパッタといいます。これを利用して気相成長やエッチングを行います。
転職×天職を運営する（株）クイックは、個人情報保護に取り組む企業を示すプライバシーマークを取得しています。