3次元回路素子
three-dimensional circuit device
超高集積電子デバイスのことで、平面的なLSIを立体的に積み重ねた構造をとります。これによってCCDやMOS型撮像素子を集積した3次元デバイスが開発されています。
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超高集積電子デバイスのことで、平面的なLSIを立体的に積み重ねた構造をとります。これによってCCDやMOS型撮像素子を集積した3次元デバイスが開発されています。
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