HTPS
high temperature poly-silicon
高温で作成した多結晶シリコンを指します。比較的高温でTFT(Thin FilmTransistor:薄膜トランジスタ)を形成するシリコン薄膜を多結晶化することで、電子の移動度(モビリティ)を高めることができます。これらはプロジェクタに用いられているアクティブマトリクス駆動方式の透過型LCD(液晶ディスプレイ)に採用されています。
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高温で作成した多結晶シリコンを指します。比較的高温でTFT(Thin FilmTransistor:薄膜トランジスタ)を形成するシリコン薄膜を多結晶化することで、電子の移動度(モビリティ)を高めることができます。これらはプロジェクタに用いられているアクティブマトリクス駆動方式の透過型LCD(液晶ディスプレイ)に採用されています。