チャンバ
chamber
化学的、物理的反応を起こさせるために密封された反応容器のことを指します。IC の製造ではCVD、スパッタリング、エッチングの各装置で用いられています。また排気デバイスの一種として、2サイクルガソリンエンジンの混合気の充填効率を高めるために用いられます。
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化学的、物理的反応を起こさせるために密封された反応容器のことを指します。IC の製造ではCVD、スパッタリング、エッチングの各装置で用いられています。また排気デバイスの一種として、2サイクルガソリンエンジンの混合気の充填効率を高めるために用いられます。
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