MEMS（メムス）
micro electro-mechanical system
シリコンウェハプロセスで培われた微細加工技術を用いて作製された、可動部を含む微小機械システムの総称を指します。代表的な応用例としてDMDや圧力センサなどがあります。光通信、医療・バイオ、マイクロパワーなど幅広い分野において応用が期待されており、マイクロレベルからナノレベルへ進展したNEMS（NanoElectro-Mechanical System）も検討されています。欧州においては、MST（Micro System Technology）とも呼ばれています。
