転職×天職 > 半導体業界での転職 > 半導体用語辞典 一覧 > アッシング

アッシング

ashing

ウェハ上のレジスト等を気相中で分解・除去する工程のことを指します。ICのリソグラフィ工程で、フォトレジストを塗布・露光・現像し、エッチングなどのマスクとして利用した後に、酸素プラズマなどで反応させ、不要となったフォトレジストを除去します。

半導体用語辞典TOPへ