エッチング
etching
一般には化学薬品などの腐食作用によって、物体を削ることを指します。食刻とも呼ばれます。フォトリソグラフィ（光露光）で形成したレジストパターンをマスクにして、下地の薄膜をエッチングし、パターン形成を行います。LSI やプリント配線基板など、精密な加工に多く用いられます。エッチングの手法は2つあり、「ウェットエッチング」という薬液を用いる方法と、「ドライエッチング」というプラズマやイオンを利用する方法があります。
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